低溫泵真空系統操作需注意哪些事項，面對一些問(wèn)題時(shí)又該如何操作應對，本文為你詳細列舉，希望能幫你認識了解低溫泵真空系統操作。

（1）在低溫泵系統中，有時(shí)為了減少表面出氣，需要對工作室壁用液氮冷卻。但此時(shí)，在解釋電離規讀數時(shí)就應注意。即使室壁不冷卻，規在低溫系統內的位置很重要，特別是否直接對著(zhù)泵。由于電離規測量的是氣體密度而不是壓強，若規內氣體溫度為T(mén)1，而系統內溫度為T(mén)2，則電離規壓強讀數是Pi=P（T1/T2）1/2，這里P是系統內的壓力。

（2）烘烤低溫泵真空系統時(shí)應特別注意，由于低溫泵怕熱輻射，當系統烘烤到450℃時(shí)，可能導致泵的溫度升高到超過(guò)工作范圍，此時(shí)可以在泵和系統之間插入水冷擋板作為熱輻射屏蔽，但這會(huì )嚴重地減小抽速�？梢园褤醢逯瞥珊婵緯r(shí)旋轉到屏蔽位置，結束后旋轉回去的類(lèi)似于蝶閥的結構。檔板在屏蔽位置時(shí)，系統的抽速減小了75%。

（3）在抽氣系統操作時(shí)，系統的操作者應確保在工作過(guò)程中低溫泵的熱載荷不超過(guò)額定指標，尤其應特別注意泵第一級吸附板上的熱載荷大小。為了確保低溫泵的熱載荷不超過(guò)指標（尤其是第一級上的熱負載），應采用某種形式的障板來(lái)減少射到第一級上的輻射用量。除了真空室壁附近300K的輻射外，第一級還接受來(lái)自諸如鍍膜室、加熱燈絲或濺射放電等熱輻射源。在許多過(guò)程中熱載荷可高達100到150W，此時(shí)就容易超過(guò)功率為35到40W的膨脹機的容量。因而需要加某種形式的障板來(lái)減少射到第一級上的輻射通量。最簡(jiǎn)單的辦法是用反射的非冷卻障板。如果還不夠的話(huà)，則需要采用帶冷卻的人字形障板。這種障板可以用水冷卻也可以用液氮來(lái)冷卻。

（4）低溫泵在連續運轉中，尤其是在吸附劑被氦飽和時(shí)，應特別注意防止瞬時(shí)斷電，因為即使是短時(shí)間停電，氦氣也會(huì )從吸附劑中釋放出來(lái)，而且會(huì )把真空器壁上的大量熱量傳到抽氣表面上去。這時(shí)即使系統已經(jīng)粗抽到20Pa也解決不了問(wèn)題，因為那也不足以阻止連續的熱傳導現象發(fā)生。

如果發(fā)生短時(shí)間斷電情況，即當氦被猝發(fā)以后，則泵就不能再繼續工作，而需要再生了。如果停電時(shí)間較長(cháng)，則可能使水蒸氣從第一級釋放出來(lái)并淀積在第二級上使吸附劑飽和，此時(shí)需要徹底再生。

（5）操作中應經(jīng)常檢查低溫泵的過(guò)壓安全閥是否正常，以防止安全閥失靈，對操作者和泵造成危害。

（6）不能用低溫泵抽除有毒的或易爆及容易產(chǎn)生化學(xué)反應的危險氣體。因為低溫表面可冷凝各種蒸氣，所以它會(huì )累積大量的沉積物，當泵被升溫時(shí)，低溫表面冷凝的某些沉積物就可能相互反應或與大氣發(fā)生反應。例如，硅烷和水蒸氣在77K時(shí)會(huì )起反應，產(chǎn)生爆炸的危險。如果泵中凝結著(zhù)爆炸性氣體，則在泵突然升溫大量氣體放出時(shí)，它們會(huì )流到被抽空的系統中去，此時(shí)如果電離規在工作就會(huì )發(fā)生嚴重問(wèn)題。

（7）低溫泵對所有氣體的抽氣能力并不是都一樣。低溫泵的抽氦和抽氫的能力要比抽其它氣體的能力差得多，在系統的組成和操作時(shí)應考慮這一點(diǎn)。

（8）壓縮機需充以高純氦（99.999%）。氖是氦中最常見(jiàn)的雜質(zhì)，它會(huì )凝聚在低溫級上并導致密封件磨損。