隧道潔凈室最初是由潔凈工作臺隧道發(fā)展改進(jìn)而來(lái)的，如把垂直于方向長(cháng)如隧道的潔凈空間的一個(gè)橫截面。但是這和在現場(chǎng)把潔凈工作臺連起來(lái)的潔凈隧道又不同，由于有空調進(jìn)風(fēng)并可調節其與凈化送風(fēng)的比例，故可實(shí)現隧道內的溫度調節。由于室內排氣要穿過(guò)工作臺循環(huán)，則對臺面仍有污染的可能，而且在界面處的誘導也是難免的，所以這種形式即使用0.1um高效過(guò)濾器，保持10級也有一定困難。于是將工作臺隧道置于全面回風(fēng)的潔凈室內，雖然上述問(wèn)題得到一定解決，但可以看到隧道的回風(fēng)是參與全室回風(fēng)的，則前述由于回風(fēng)速度不均勻而產(chǎn)生的偏流等影響將發(fā)生，當然還有不經(jīng)濟以及一些使用上的問(wèn)題，所以隧道內保持潔凈級別也不容易。

　　為了改善回風(fēng)穿過(guò)工作臺和共用回風(fēng)道的情況，提出了另一種方案，即將工作臺隧道置于亂流潔凈室中，而回風(fēng)口在亂流潔凈室中央。兩方案的差別是在空凋方案上。