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暖通空調:無(wú)塵室操作時(shí)的一般規定

2015-08-09 17:55  來(lái)源于網(wǎng)絡(luò )  【  【打印】【我要糾錯】

  1.處理芯片時(shí),必須戴上無(wú)纖維手套,使用清洗過(guò)的干凈鑷子挾持芯片,請勿以手指或其它任何東西接觸芯片,遭碰觸污染過(guò)的芯片須經(jīng)清洗,方得繼續使用:

 。1)任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過(guò),或是鑷子掉落地上,必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。

 。2)芯片清洗后進(jìn)行下一程序前,若被手指碰觸過(guò),必須重新清洗。

 。3)把芯片放置于石英舟上,準備進(jìn)爐管時(shí),若發(fā)現所用鑷子有污損現象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染,必須將芯片重新清洗,并立即更換干凈的鑷子使用。

  2.芯片必須放置盒中,蓋起來(lái)存放于規定位置,盡可能不讓它暴露。

  3.避免在芯片上談話(huà),以防止唾液濺于芯片上,在芯片進(jìn)擴散爐前,請特別注意,防止上述動(dòng)作產(chǎn)生,若芯片上沾有纖維屑時(shí),用氮氣槍噴之。

  4.從鐵弗龍(Teflon)晶舟,石英舟(Quartz Boat)等載具(Carrier)上,取出芯片時(shí),必須垂直向上挾起,避免刮傷芯片,顯微鏡鏡頭確已離芯片,方可從吸座上移走芯片。

  5.芯片上,若已長(cháng)上氧化層,在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。

  6.操作時(shí),不論是否戴上手套,手絕不能放進(jìn)清洗水槽。

  7.使用化學(xué)站或烤箱處理芯片時(shí),務(wù)必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內,不可使用塑料盒。

  8.擺置芯片于石英舟時(shí),若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片,然后再進(jìn)氧化爐。

  9.請勿觸摸芯片盒內部,如被碰觸或有碎芯片污染,必須重作清洗。

  10.手套,廢紙及其它雜碎東西,請勿留置于操作臺,手套若燒焦、磨破或纖維質(zhì)變多必須換新。

  11.非經(jīng)指示,絕不可開(kāi)啟不熟悉的儀器及各種開(kāi)關(guān)閥控制鈕或把手。

  12.奇怪的味道或反應異常的溶液,顏色,聲響等請即通知相關(guān)人員。

  13.儀器因操作錯誤而有任何損壞時(shí),務(wù)必立刻告知負責人員或老師。

  14.芯片盒進(jìn)出無(wú)塵室須保持干凈,并以保鮮膜封裝,違者不得進(jìn)入。

  15.無(wú)塵室內一律使用原子筆及無(wú)塵筆記本做記錄,一般紙張與鉛筆不得攜入。

責任編輯:zyy
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