1.設備基礎：主要是強度、沉降和抗振性能。

2.墊鐵埋設：主要是承載面積和接觸情況。

3.設備灌漿：主要是強度和密實(shí)度。

4.地腳螺栓：主要是緊固力和垂直度。

5.設備制造：主要是加工精度和裝配精度。

6.測量誤差：主要是儀器精度、基準精度。

主要形狀誤差有直線(xiàn)度、平面度、圓度、圓柱度等;主要位置誤差有平行度、垂直度、傾斜度、圓軸度、對稱(chēng)度等。

7.環(huán)境因素：主要是基礎溫度變形、設備溫度變形和惡劣環(huán)境場(chǎng)所。