芯片生產(chǎn)過(guò)程中,使用多種化學(xué)物品,廠(chǎng)區內設有儲存這些化學(xué)物品的化學(xué)品庫,化學(xué)品種類(lèi)達80種。按照gb13690-92《常用危險化學(xué)品的分類(lèi)及標志》規定中對常用危險化學(xué)品,按其主要危險特性進(jìn)行分類(lèi),該項目中使用的危險化學(xué)品有壓縮氣體和液化氣體,易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類(lèi)別,這些物質(zhì)的主要危險危害為:
有毒有害氣體(如ash3、ph3、sih4、co等)如泄漏與空氣混合遇明火易燃爆,有的可在空氣中自燃,有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。
氧化劑(如過(guò)氧化氫等)如泄漏與有機物還原劑、易燃物接觸可引起火災爆炸。
易燃液體(如丙酮、異丙醇等)如泄漏、揮發(fā)與空氣混合形成爆炸氣體遇明火、熱源可引發(fā)火災爆炸。
腐蝕品(如酸類(lèi)、堿類(lèi)等)如泄漏與人體接觸可引起化學(xué)灼傷。
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