（1）確定初始事件。初始事件可以是系統或設備的故障、人員的失誤或工藝參數偏移等可能導致事故發(fā)生的事件。初始事件一般依靠分析人員的經(jīng)驗和有關(guān)運行、故障、事故統計資料來(lái)確定。

（2）判定安全功能。系統中包含許多能消除、預防、減弱初始事件影響的安全功能（安全裝置、操作人員的操作等）。常見(jiàn)的安全功能有自動(dòng)控制裝置、報警系統、安全裝置、屏蔽裝置和操作人員采取措施等。

（3）發(fā)展事件樹(shù)和簡(jiǎn)化事件樹(shù)。從初始事件開(kāi)始，自左至右發(fā)展事件樹(shù)。首先把事件一旦發(fā)生時(shí)起作用的安全功能狀態(tài)畫(huà)在上面的分支，不能發(fā)揮安全功能的狀態(tài)畫(huà)在下面的分支。然后依次考慮每種安全功能分支的兩種狀態(tài)，層層分解直至系統發(fā)生事故或故障為止。

簡(jiǎn)化事件樹(shù)是在發(fā)展事件樹(shù)的過(guò)程中，將與初始事件、事故無(wú)關(guān)的安全功能和安全功能不協(xié)調、矛盾的情況省略、刪除，達到簡(jiǎn)化分析的目的。

（4）分析事件樹(shù)。事件樹(shù)各分支代表初始事件一旦發(fā)生后其可能的發(fā)展途徑，其中導致系統事故的途徑即為事故連鎖。

事件樹(shù)分析適合用來(lái)分析那些產(chǎn)生不同后果的初始事件。它強調的是事件可能發(fā)生的初始原因以及初始事件對事件后果的影響，事件樹(shù)的每一個(gè)分支都表示一個(gè)獨立的事件序列，對一個(gè)初始事件而言，每一獨立事件序列都清楚地界定了安全功能之間的功能關(guān)系。